172nm MINI實(shí)驗(yàn)?zāi)＝M 新品首發(fā)

本次展會(huì)，廣明源將首發(fā)推出自主研發(fā)的新品——172nm MINI實(shí)驗(yàn)?zāi)＝M。該產(chǎn)品專為半導(dǎo)體工藝研發(fā)、制程驗(yàn)證及小批量試產(chǎn)環(huán)節(jié)設(shè)計(jì)，具備結(jié)構(gòu)精簡、成本可控、桌面即放即用、便攜靈活等特點(diǎn)，適配多種實(shí)驗(yàn)環(huán)境與制程需求。

172nm 深紫外黑科技

可高效分解晶圓表面有機(jī)殘留，提升潔凈度與附著性能，為封裝、清洗等工藝提供穩(wěn)定前處理方案。

極簡結(jié)構(gòu)，桌面級(jí)準(zhǔn)分子實(shí)驗(yàn)新體驗(yàn)

由于傳統(tǒng)準(zhǔn)分子光輻照器因高純度 N?填充結(jié)構(gòu)復(fù)雜，難以實(shí)現(xiàn)桌面級(jí)靈活實(shí)驗(yàn)。廣明源創(chuàng)新推出緊湊臺(tái)式準(zhǔn)分子光照射器——172nm MINI實(shí)驗(yàn)?zāi)＝M，機(jī)身僅相當(dāng)于書本大小，采用高集成輕量化設(shè)計(jì)，打破空間與成本壁壘，助力高校、企業(yè)及研究機(jī)構(gòu)輕松搭建準(zhǔn)分子光實(shí)驗(yàn)環(huán)境，滿足平板顯示光清洗、塑料表面改性等多領(lǐng)域研發(fā)需求。

應(yīng)用領(lǐng)域：

表面有機(jī)污染物去除

表面活化與改性

封裝工藝表面清潔處理

超凈化超微細(xì)清洗工藝驗(yàn)證

172nm 系列全線亮相共襄盛會(huì)

除新品發(fā)布外，廣明源還將展出多款172nm準(zhǔn)分子系列光源與模組產(chǎn)品，覆蓋晶圓清洗、半導(dǎo)體基材表面活化、超純水TOC降解等多個(gè)關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)，為制程優(yōu)化與設(shè)備升級(jí)提供更多選擇。

172nm準(zhǔn)分子系列光源

172nm準(zhǔn)分子系列模組及設(shè)備

SEMI-e 2025 ，誠邀蒞臨

歡迎半導(dǎo)體制造企業(yè)、設(shè)備廠商、工藝研發(fā)工程師及行業(yè)伙伴蒞臨參觀交流，現(xiàn)場了解172nm準(zhǔn)分子光科技在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的多元應(yīng)用，共同探討合作機(jī)會(huì)。

觀展指南

2025 SEMI-e 中國（深圳）國際半導(dǎo)體展覽會(huì)

時(shí)間：2025年6月4-6日

地點(diǎn)：深圳國際會(huì)展中心14號(hào)館

展位號(hào)：14G22

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